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CVD炉系列

大型CVD气相沉积炉





用途:

化学气相沉积炉(CVD炉)是用于在特定压力下将金属卤化物、金属有机物、碳氢化合物等反应源加热气化后在目标材料表面反应生成固态沉积物的设备,广泛用于物质提纯、新晶体研制、各种单晶的沉积、多晶或玻璃态无机薄膜材料等